[发明专利]旋转组合及工件加工系统有效
申请号: | 201980064711.6 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN112867884B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 罗伯特·J·米歇尔;吉列尔莫·科洛姆 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | F16J15/36 | 分类号: | F16J15/36;F16J15/16;F16J15/324;H01L21/67 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开一种旋转组合及工件加工系统,所述旋转组合包括内轴,其中内轴是能够旋转的且包括内部通道,内部通道能够操作以将低温流体递送至台板。旋转组合可更包括:旋转组合轴,环绕内轴;以及密封组件,耦合至旋转组合轴。密封组件可包括:支撑件;金属波纹管,围绕支撑件的外部延伸;以及密封支撑件,耦合至金属波纹管,其中密封支撑件围绕支撑件延伸。密封组件可更包括:非旋转密封部件,安置于密封支撑件中;以及旋转密封部件,邻接非旋转密封部件以在其间形成机械密封件。 | ||
搜索关键词: | 旋转 组合 工件 加工 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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