[发明专利]产生渐缩倾斜鳍片的受控硬掩模成形有效
| 申请号： | 201980064955.4 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN112805613B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 卢多维克·戈代;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B30/00 | 分类号： | G02B30/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式涉及形成光学装置结构的方法。方法的一个实施方式包括以下步骤：相对于基板的表面的表面法线以离子角度将基板暴露于离子，以形成复数个深度的初始深度。图案化掩模设置在基板上方，并且包括两个或更多个凸起，两个或更多个凸起限定基板或设置在基板上的装置层的暴露部分。每个凸起具有在与装置层接触的底表面处的后尾边缘，在每个凸起的顶表面处的前导边缘和从顶表面到装置层的高度。重复以离子角度将基板暴露于离子，以形成复数个深度的至少一个后续深度。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 倾斜 受控 硬掩模 成形 | ||
【主权项】：
暂无信息
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