[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件在审

专利信息
申请号: 201980065315.5 申请日: 2019-09-25
公开(公告)号: CN113196169A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 松家则孝;米田聪;榎本哲也 申请(专利权)人: 艾曲迪微系统股份有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;C08F2/48;C08G73/10;G03F7/027;G03F7/20;G03F7/32;G03F7/40
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 陈彦;郭玫
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种感光性树脂组合物,其含有(A)聚酰亚胺前体、(B)聚合性单体、(C)光聚合引发剂、(D)防锈剂、(E)抗氧化剂、(F)环化催化剂以及(G)溶剂。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 图案 固化 制造 方法 绝缘 覆盖 涂层 表面 保护膜 电子 部件
【主权项】:
暂无信息
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