[发明专利]用于确定测量面的相对反射率的方法在审

专利信息
申请号: 201980065459.0 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN112930475A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: G·伯尔尼;P·肖特尔;A·海姆斯特;P·尼茨 申请(专利权)人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
主分类号: G01N21/55 分类号: G01N21/55
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 南毅宁
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于确定测量面的相对反射率的方法,包括以下方法步骤:A.向测量面施加测量辐射,使得在测量面上产生测量斑,B.根据第一轨迹运动,使测量斑在测量面上至少沿着为直线的第一测量斑轨迹运动,C.在根据步骤B的第一轨迹运动期间,拍摄测量面的多个位置分辨图像的第一图像集,以及D.确定测量面的多个位置点的相对反射率。本发明的特征在于,在方法步骤B中,在第二轨迹运动中,测量斑在测量面上还至少沿着不平行于第一测量设置轨迹的为直线的第二测量轨迹运动,使得在第一轨迹运动期间测量扫过的测量面的第一测量轨迹区域至少与在第二轨迹运动期间被测量斑扫过的测量面的第二测量轨迹区域重叠,在方法步骤C中,在根据步骤B的第二轨迹运动期间拍摄测量面的多个位置分辨图像的第二图像集,并且在方法步骤D中,在交点上进行评估,交点在测量面上的位置点由评估线限定,其中预先给定和/或确定在第一测量轨迹区域内的第一组直线评估线和在第二测量轨迹区域内的至少第二组直线评估线,其中这些组具有至少两条彼此间隔的评估线,第一组中的评估线平行于第一测量斑轨迹,并且第二组中的评估线平行于第二测量斑轨迹,并且第一组中的每条评估线与第二组中的每条评估线相交,其中对于每个图像集,在每种情况下分别至少针对每个交点确定最大灰度值,并且在方法步骤D中,根据这些灰度值至少在交点的子集上确定测量面的相对反射率。
搜索关键词: 用于 确定 测量 相对 反射率 方法
【主权项】:
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