[发明专利]蒸镀方法在审
| 申请号： | 201980066751.4 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112805404A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 寺田茂树 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用掩模将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸镀方法，将设置了掩模且包含彼此相对的第一边和第二边的掩模框，以在重力方向上所述第一边位于比所述第二边高的位置方式，与所述基板相对地配置，在配置了所述掩模框之后，校正所述掩模框上产生的重力方向上的挠曲。所述校正可以包括对所述掩模框上产生所述挠曲的位置施加力。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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