[发明专利]控制硅熔融物中的掺杂剂浓度以增强铸锭质量在审
| 申请号： | 201980066785.3 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113272479A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | M·波里尼 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 江葳 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开用于制造单晶硅铸锭的方法，其中硅熔融物中的掺杂剂浓度受到控制。所述掺杂剂浓度的所述控制通过所述单晶硅铸锭的颈部、冠部及主体部分中的位错的减少或消除来增强铸锭质量。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 熔融 中的 掺杂 浓度 增强 铸锭 质量 | ||
【主权项】：
暂无信息
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