[发明专利]用于选择性SEM自动聚焦的系统和方法在审
| 申请号： | 201980067572.2 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112840433A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 伯纳德·G·穆勒;库普雷特·辛格·维迪;尼古拉·克努布 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/21 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于聚焦扫描式电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)的系统和方法包括使用第一聚焦条件获取样本的第一SEM图像；分析第一SEM图像，以确定对比改变测量结果；基于这些对比改变测量结果确定感兴趣区；至少部分基于感兴趣区将SEM从第一聚焦条件调整至第二聚焦条件，其中第一聚焦条件不同于第二聚焦条件；和使用第二聚焦条件获取样本的第二SEM图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 选择性 sem 自动 聚焦 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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