[发明专利]光酸产生剂和光刻用树脂组合物在审
| 申请号： | 201980067796.3 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN112888676A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 柴垣智幸 | 申请（专利权）人： | 三亚普罗股份有限公司 |
| 主分类号： | C07D221/14 | 分类号： | C07D221/14;C09K3/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;李书慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的目的在于提供对i线具有高感光度、在抗蚀剂溶液中的相容性和溶解性优异且耐热稳定性优异的非离子系光酸产生剂。本发明是一种非离子系光酸产生剂(A)，其特征在于，由下述通式(1)表示。[式(1)中，X表示氧原子或者硫原子，R1表示氢原子或者可具有羧酸基的碳原子数1～12的烷基，R2表示氢原子或者碳原子数1～12的烷基，Rf表示氢的一部分或全部被氟取代的碳原子数1～12的烃基。] |
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| 搜索关键词： | 产生 光刻 树脂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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