[发明专利]表面处理液和含镍材料的表面处理方法在审
| 申请号： | 201980068276.4 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112867811A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 齐藤康太;池田贵重 | 申请（专利权）人： | 株式会社ADEKA |
| 主分类号： | C23C22/50 | 分类号： | C23C22/50 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供在蚀刻含镍材料时的污物形成受到抑制、能够提高抗蚀图案与含镍材料的密合性的含镍材料用的表面处理液；以及使用其的含镍材料的表面处理方法。一种用于对含镍材料的表面进行处理的表面处理液、以及具有使该表面处理液接触含镍材料的表面的工序的含镍材料的表面处理方法。表面处理液是水溶液，其含有：(A)铁离子0.05～5质量％；(B)无机酸0.5～20质量％；(C)选自由柠檬酸三铵、乳酸铵、甲酸铵、柠檬酸氢二铵、乙醇酸铵和苹果酸铵组成的组中的至少1种化合物1～20质量％；以及水。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 材料 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
