[发明专利]表面处理液和含镍材料的表面处理方法在审

专利信息
申请号: 201980068276.4 申请日: 2019-09-04
公开(公告)号: CN112867811A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 齐藤康太;池田贵重 申请(专利权)人: 株式会社ADEKA
主分类号: C23C22/50 分类号: C23C22/50
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供在蚀刻含镍材料时的污物形成受到抑制、能够提高抗蚀图案与含镍材料的密合性的含镍材料用的表面处理液;以及使用其的含镍材料的表面处理方法。一种用于对含镍材料的表面进行处理的表面处理液、以及具有使该表面处理液接触含镍材料的表面的工序的含镍材料的表面处理方法。表面处理液是水溶液,其含有:(A)铁离子0.05~5质量%;(B)无机酸0.5~20质量%;(C)选自由柠檬酸三铵、乳酸铵、甲酸铵、柠檬酸氢二铵、乙醇酸铵和苹果酸铵组成的组中的至少1种化合物1~20质量%;以及水。
搜索关键词: 表面 处理 材料 方法
【主权项】:
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