[发明专利]用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法在审
| 申请号： | 201980068610.6 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN112889005A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | M·C·西蒙;林晨希;伍健一 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案(例如热点图案)；以及经由经训练的生成器模型(例如CNN)的模拟，基于输入图案生成特征图案，其中，输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生成 特性 图案 训练 机器 学习 模型 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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