[发明专利]带有用于监测和控制的控制器的磁控管在审
| 申请号： | 201980068779.1 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112912990A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | W·德博斯谢尔;I·范德普特;N·德维尔德 | 申请（专利权）人： | 梭莱先进镀膜工业公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 王初 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了一种用于溅射设备的磁控管结构。磁控管结构包括磁控管(100，200，300，401)和刚性地连接到磁控管(100，200，300，401)的控制器(106，206，301，402)。控制器(106，206，301，402)适于至少部分地控制溅射单元的状况和/或功能。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 用于 监测 控制 控制器 磁控管 | ||
【主权项】：
暂无信息
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