[发明专利]气体传感器在审
| 申请号： | 201980069448.X | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112997071A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 弗洛林·乌德雷亚;赛义德·泽尚·艾利 | 申请（专利权）人： | 希奥检测有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/22;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 侯丽英;刘继富 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种气体感测装置，包括：衬底，其包括蚀刻腔体部分和衬底部分；电介质层，其设置在衬底上，其中，该电介质层包括电介质膜，其中，该电介质膜与衬底的蚀刻腔体部分相邻；加热器，其位于电介质层内；用于感测气体的材料；以及一个或更多个多晶硅电极，其与该用于感测气体的材料耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于希奥检测有限公司，未经希奥检测有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980069448.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：滑动部件用组合物及滑动部件
- 下一篇：移位组件及包括其的移动载具
