[发明专利]合金板和包括合金板的沉积掩模在审

专利信息
申请号: 201980069822.6 申请日: 2019-11-06
公开(公告)号: CN113169288A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 郑炫俊;张佑荣;朴德勳;白智钦 申请(专利权)人: LG伊诺特有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/00;G03F7/20;C23C14/24;C22C38/08
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 李琳;陈英俊
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在根据一个实施例的合金金属板中,将相对于合金金属板的(111)表面的衍射强度定义为I(111),将相对于合金金属板的(200)表面的衍射强度定义为作为I(200),将相对于合金金属板的(220)表面的衍射强度定义为I(220),I(200)的衍射强度比由以下等式1定义,并且I(220)的衍射强度比由以下等式2定义:[等式1]A=A=I(200)/{I(200)+I(220)+I(111)};I(220)的衍射强度比由下面的等式2定义,[等式2]B=I(220)/{I(200)+I(220)+I(111)},其中A的值为0.5至0.6,B的值为0.3至0.5,并且A可以大于B。另外,在根据实施例的用于沉积OLED像素的沉积掩模的铁‑镍(Fe‑Ni)合金金属板中,金属板由多个晶粒形成,并且在金属板的整个面积上测得的晶粒的最大面积为700μm 2以下。
搜索关键词: 合金 包括 沉积
【主权项】:
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