[发明专利]带有波纹膜片的传感器在审
| 申请号： | 201980070210.9 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN112913261A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | G.斯托贾诺维奇;C.斯蒂尔;S.米勒;T.弗罗利赫 | 申请（专利权）人： | ams有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邓亚楠 |
| 地址： | 奥地利普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种传感器包括：基板；和从基板偏移的波纹膜片。波纹膜片被配置为响应于撞击在波纹膜片上的声波而挠曲。在波纹膜片和基板之间限定腔，波纹膜片形成腔的顶表面，基板形成腔的底表面。腔内的压力低于腔外的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 波纹 膜片 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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