[发明专利]粒子捕获设备及粒子捕获方法在审
| 申请号： | 201980070879.8 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112912485A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 大坂享史 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | C12M1/00 | 分类号： | C12M1/00;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;焦成美 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方式的粒子捕获设备(1)包含：基板(2)；可捕获粒子的粒子捕获膜(3)；和支承体(4)，在对前述粒子捕获膜(3)赋予了张力的状态下支承前述粒子捕获膜(3)，以使前述粒子捕获膜(3)与前述基板(2)平行、且在前述粒子捕获膜(3)与前述基板(2)之间形成空间(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 捕获 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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