[发明专利]激光加工装置在审
申请号: | 201980071530.6 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN113039035A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 坂本刚志;奥间惇治 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/53;H01L21/301 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的激光加工装置具备:支撑部、激光加工头、铅直移动机构、水平移动机构、以及控制部。控制部实行:周缘处理,其通过在一边将支撑部旋转,一边将聚光点定位于沿着对象物的有效区域的周缘的位置的状态下,基于旋转信息,控制激光加工头的激光的照射的开始及停止,沿着对象物的有效区域的周缘形成改质区域。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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