[发明专利]X射线源的机械对准在审

专利信息
申请号: 201980071958.0 申请日: 2019-11-04
公开(公告)号: CN113039625A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 约翰·克龙斯泰特;乌尔夫·伦德斯托姆;波尔·塔克曼 申请(专利权)人: 伊克斯拉姆公司
主分类号: H01J35/06 分类号: H01J35/06;H01J35/08;H01J35/14;H01J35/24;H05G1/30;H05G2/00
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 李健
地址: 瑞典*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本披露内容涉及X射线源(100),这些X射线源包括电子源(110)、用于调节由该电子源生成的电子束(e)的取向的调节装置(120)、被配置为根据聚焦设置聚焦电子束的聚焦装置、被布置为生成指示电子束相对于靶标位置的取向的信号的束取向传感器(130)、以及可操作地连接到该聚焦装置、该束取向传感器和该调节装置的控制器(140)。本披露内容还涉及包括靶标取向传感器(270)和靶标调节装置(280)的X射线源(100),其中,该控制器被配置为使该束调节装置和/或该靶标调节装置调节电子束与靶标之间的相对取向。
搜索关键词: 射线 机械 对准
【主权项】:
暂无信息
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