[发明专利]用于检测X射线的高分辨率光阀检测器在审
申请号: | 201980072329.X | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN113169014A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 徐晓超;克里斯托夫·格拉夫·沃姆·哈根 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司有限公司 |
主分类号: | H01J37/244 | 分类号: | H01J37/244;H01L31/08;G01T1/24;G02F1/135;H05G1/64 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 张德才 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于X射线显微镜系统的检测系统利用高带隙、直接转换X射线检测材料。X射线投影的信号被记录在诸如液晶(LC)光阀等的空间光调制器中。然后通过偏振光光学显微镜读出光阀。这种配置将减轻在当前闪烁体‑光学显微镜‑相机检测系统上的光学系统中的光损失。 | ||
搜索关键词: | 用于 检测 射线 高分辨率 检测器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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