[发明专利]用于检测X射线的高分辨率光阀检测器在审

专利信息
申请号: 201980072329.X 申请日: 2019-11-05
公开(公告)号: CN113169014A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 徐晓超;克里斯托夫·格拉夫·沃姆·哈根 申请(专利权)人: 卡尔蔡司有限公司
主分类号: H01J37/244 分类号: H01J37/244;H01L31/08;G01T1/24;G02F1/135;H05G1/64
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 张德才
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于X射线显微镜系统的检测系统利用高带隙、直接转换X射线检测材料。X射线投影的信号被记录在诸如液晶(LC)光阀等的空间光调制器中。然后通过偏振光光学显微镜读出光阀。这种配置将减轻在当前闪烁体‑光学显微镜‑相机检测系统上的光学系统中的光损失。
搜索关键词: 用于 检测 射线 高分辨率 检测器
【主权项】:
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