[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板、显示装置在审
申请号: | 201980073008.1 | 申请日: | 2019-03-19 |
公开(公告)号: | CN113261113A | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 邹灿 | 申请(专利权)人: | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 申请公开一种薄膜晶体管(10)及其制造方法、显示面板(20)、显示装置,其中薄膜晶体管的制造方法包括:在基底(11)上形成遮光层(14)和屏蔽层(15);对屏蔽层(15)进行处理,使遮光层(14)部分显露;在屏蔽层(15)和遮光层(14)显露的部分上形成半导体层(16),半导体层(16)具有连接部(168),连接部(168)与遮光层(14)显露的部分连接;遮光层(14)、屏蔽层(15)和半导体层(16)形成自对准结构,能够实现对遮光层(14)和半导体层(16)同时进行光罩,而不需要对遮光层(14)和半导体层(16)单独进行光罩,因而在制备薄膜晶体管(10)的过程中,光罩次数减少,生产成本降低。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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