[发明专利]基于过程变化度的空间特性对不合格的预测在审
| 申请号： | 201980073547.5 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112969968A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 黄文谨;李红梅;徐慧娜;B·拉方丹 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述的是一种用于确定概率模型的方法，该概率模型被配置为预测受图案化处理的衬底的图案的特性(例如，缺陷、CD等)。该方法包括获取与衬底上的图案的特性相对应的残差的分布的空间图，基于在空间图内的残差的分布的变化来确定空间图的区域，以及基于区域和区域内的衬底上的残差的值的分布或图案的特性的值的分布来确定概率模型。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 过程 变化 空间 特性 不合格 预测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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