[发明专利]用于OCT测量射束调整的方法和计算机程序产品有效
| 申请号： | 201980073763.X | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN113015595B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | M·施坦布克;J-P·埃尔马尼;T·诺特海斯;A·绍特 | 申请（专利权）人： | 通快激光与系统工程有限公司;通快激光有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/03 | 分类号： | B23K26/03;B23K26/044;B23K26/082;B23K26/21;G01B11/03;G01B11/14;G01B11/24;G01B11/26;G01C1/00;G01C3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定能够围绕两个轴(C，D)倾斜的测量镜扫描仪(13)的测量坐标系(15)与能够围绕两个轴(A，B)倾斜的加工镜扫描仪(7)的加工坐标系(10)之间的平移偏差的方法，测量镜扫描仪使测量射束二维偏转，加工镜扫描仪将由测量镜扫描仪(13)偏转的测量射束(12)和加工射束二维偏转到工件(2)上，其中，在工件(2)处反射的测量射束(12‘)沿着入射的测量射束(12)的路径返回并由空间分辨测量传感器检测，以便求取工件(2)的空间分辨信息，其中，在测量镜扫描仪(13)的零位中，在测量传感器(17)的传感器图像(18)中，反射的测量射束(12‘)成像在先前已知的图像位置上，方法包括以下方法步骤：通过借助由加工镜扫描仪(7)偏转的加工射束(3)以xy栅格扫描孔光阑(22)，并通过分析处理在栅格点(24)中的每个中探测到的激光功率，求取加工射束(3)相对于布置在工件支承平面(8)上的孔光阑探测器(21)的孔光阑中心的xy焦点位置偏差，以及将加工镜扫描仪(7)固定在基于所求取的xy焦点位置偏差而校正的扫描位置中，在扫描位置中，加工射束(3)的焦点位置处于预先确定的位置中、尤其是处于孔光阑中心(20)中；在将加工镜扫描仪(7)固定在校正的扫描位置的情况下，通过借助由测量镜扫描仪(13)偏转的测量射束(12)扫描孔光阑(22)，借助测量传感器(17)来检测孔光阑(22)的空间分辨高度信息；基于存在于测量传感器(17)的传感器图像(18)中的、与加工射束的焦点位置相对应的先前已知的图像位置与从高度信息中检测到的孔光阑中心(20‘)之间的偏差，确定加工坐标系与测量坐标系(10，15)之间的平移偏差(Δx，Δy)。 | ||
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【主权项】：
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