[发明专利]用于在成形DC脉冲等离子体处理装置中的边缘环控制的电路在审
| 申请号： | 201980073809.8 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112997270A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 崔琳锳;J·罗杰斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/687;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及相对于位于处理腔室内的基板支撑件上的基板来操纵边缘环处的电压的设备和方法。设备包括基板支撑组件，基板支撑组件具有主体，主体具有嵌入在主体中的基板电极以用于向基板施加电压。基板支撑组件的主体另外具有嵌入在主体中的边缘环电极以用于向边缘环施加电压。设备进一步包括耦合到边缘环电极的边缘环电压控制电路。基板电压控制电路耦合到基板电极。边缘环电压控制电路和基板电压控制电路独立地可调谐，以在边缘环电压与基板电压之间产生电压差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 成形 dc 脉冲 等离子体 处理 装置 中的 边缘 控制 电路 | ||
【主权项】：
暂无信息
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