[发明专利]真空处理装置有效
| 申请号： | 201980075427.9 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN113056572B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 铃木康司;长岛英人;藤井佳词 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/34;H01L21/285;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红;秦岩 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过简单的结构就可冷却真空室内设置的可动防尘板的真空处理置。具有真空室(1)并对该真空室中安装的被处理基板(Sw)实施规定的真空处理的发明的真空处理装置(SM)，其特征在于：在真空室内设置防尘板(8)，防尘板由真室中固定配置的固定防尘板(81)和在一个方向上自由移动的可动防尘板(82)构成还具有：竖直设立在真空室的内壁面(13)上的金属材质的块体(9)；以及冷却块体冷却装置(11)，在对被成膜基板实施规定的真空处理的可动防尘板的处理位置上，体的顶表面(91)与可动防尘板接近或抵接。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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