[发明专利]压力传感器及电子设备有效
申请号: | 201980078540.2 | 申请日: | 2019-12-03 |
公开(公告)号: | CN113167663B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 胜原智子;塚本圭;水野裕;西村泰三 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉双 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种压力传感器,所述压力传感器包括:电容传感器电极层,所述电容传感器电极层包括多个感测部;第一参考电极层,所述第一参考电极层面对所述传感器电极层的第一表面;第二参考电极层,所述第二参考电极层面对所述传感器电极层的第二表面;弹性层,所述弹性层设置在所述第一参考电极层与所述传感器电极层之间;和间隙层,所述间隙层设置在所述第二参考电极层与所述传感器电极层之间。在该压力传感器中,所述传感器电极层、所述第一参考电极层和所述第二参考电极层具有狭缝。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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