[发明专利]冷却带电粒子束系统的物镜的系统和方法在审
| 申请号： | 201980078686.7 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113169007A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | J·G·戈森;S·A·J·霍尔;M·P·C·范赫尤门;D·H·C·范班宁;N·霍塞尼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于冷却带电粒子束系统的物镜的系统和方法。根据某些实施例，用于冷却带电粒子束系统的物镜的方法包括经由线轴的流体输入端口接收流体，经由分布在该线轴中的多个通道循环吸收了由该物镜的多个电磁线圈所生成的热量的流体，并且经由该线轴的流体输出端口分配由该多个通道所循环的流体。该线轴可以进一步包括接近于晶片的底部凸缘以及远离该晶片的顶部凸缘。具有多个通道的该线轴可以包括增材制造的单片结构。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 带电 粒子束 系统 物镜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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