[发明专利]由钌配合物构成的化学蒸镀用原料及使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法有效
| 申请号： | 201980079639.4 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN113166931B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 原田了辅;岩井辉久;重富利幸;大武成行;李承俊 | 申请（专利权）人： | 田中贵金属工业株式会社 |
| 主分类号： | C07D471/04 | 分类号： | C07D471/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 常海涛;金小芳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中，由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中，与钌配位的配位体L |
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| 搜索关键词： | 配合 构成 化学 蒸镀用原 料及 使用 蒸镀用 原料 蒸镀法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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