[发明专利]使用动态阈值进行电弧检测的系统和方法在审
| 申请号： | 201980079859.7 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN113169018A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 尤瑟夫·努里 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/304;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 美国马萨诸塞州*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及快速熄灭可以在与离子源相关联的高压电极之间形成的电弧的电路、系统和方法，以缩短电弧的持续时间并减轻非均匀离子注入。在一个示例中，用于检测离子注入系统中的电弧的电弧检测电路包括模数转换器(ADC)和分析电路。ADC配置成将感测电流转换为数字电流信号，其中，感测电流表示供应到离子注入系统中的电极的电流，数字电流信号对该感测电流进行量化。分析电路配置成对数字电流信号进行分析，以确定数字电流信号是否满足阈值参数值，并且响应于数字电流信号满足阈值参数值，向触发控制电路提供电弧检测信号，触发控制电路激活灭弧机构。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 动态 阈值 进行 电弧 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾克塞利斯科技公司，未经艾克塞利斯科技公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980079859.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：改进的家具
- 下一篇：无线通信的方法、终端设备和网络设备
