[发明专利]三碘硅烷的制备在审
| 申请号： | 201980079955.1 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN113195506A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | D·凯珀;M·汉德尔瓦尔;T·M·卡梅龙;T·H·鲍姆;J·克利里 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C07F7/08 | 分类号： | C07F7/08 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用呈粉末形式的碘化锂且通过叔胺催化，由三氯硅烷制备某些硅烷前体化合物，例如三碘硅烷的方法。所述方法以高产率和高纯度提供三碘硅烷。三碘硅烷是可用于将硅原子层沉积到各种微电子装置结构上的前体化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 制备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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