[发明专利]利用后道工艺的集成波导式探测器的隔离

摘要

一种光学器件，包括：衬底、在衬底上的电介质层、在电介质层内的波导、在电介质层中并且耦合至波导的光敏部件(例如，光电探测器)、以及在衬底或电介质层的至少一者中的并且被配置成防止杂散光到达光敏部件的多个光隔离结构。在一些实施例中，多个光隔离结构中的光隔离结构包括两个相对侧壁和两个相对侧壁之间的填充材料。所述两个相对侧壁包括光学隔离层。所述填充材料由与衬底或电介质层中的至少一者的热膨胀系数匹配的热膨胀系数表征。