[发明专利]正型干膜抗蚀剂及蚀刻方法在审

专利信息
申请号: 201980082011.X 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN113168097A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 入泽宗利;中村优子;梶谷邦人 申请(专利权)人: 三菱制纸株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/023;G03F7/11;H05K3/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 王永红
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明的课题在于提供一种在将正型干膜抗蚀剂贴附于基材后,能够容易地将(a)支撑体膜和(b)剥离层从(c)正型感光性抗蚀剂层与(b)剥离层的界面剥离,另外,在将正型干膜抗蚀剂切割或分切时不易发生破裂的正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法,通过正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法,解决了上述课题,所述正型干膜抗蚀剂的特征在于,至少依次层叠有(a)支撑体膜、(b)剥离层和(c)正型感光性抗蚀剂层,(b)剥离层包含聚乙烯醇,并且(c)正型感光性抗蚀剂层包含酚醛树脂和醌二叠氮磺酸酯作为主成分。
搜索关键词: 正型干膜抗蚀剂 蚀刻 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱制纸株式会社,未经三菱制纸株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980082011.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top