[发明专利]包含具有用于升华固体掺杂物的多孔分隔构件的掺杂导管的铸锭拉晶设备在审
| 申请号： | 201980082576.8 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113166968A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | R·斯卡拉;F·巴坦;S·哈林格 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 江葳 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于制备硅铸锭的铸锭拉晶设备，其包含掺杂物供给系统。所述掺杂物供给系统包含掺杂物导管，其具有跨所述掺杂物导管安置的多孔分隔构件。固体掺杂物落入到所述分隔构件上，所述固体掺杂物在所述分隔构件处升华。所述经升华掺杂物通过惰性气体载送通过所述分隔构件以接触及掺杂硅熔体。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 具有 用于 升华 固体 掺杂 多孔 分隔 构件 导管 铸锭 设备 | ||
【主权项】：
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