[发明专利]耐氢氟酸性抗蚀剂组合物和使用其得到的基材加工品在审
| 申请号： | 201980083175.4 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN113227010A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 高桥元范;西尾一则 | 申请（专利权）人： | 太阳油墨制造株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C08F2/44;G03F7/004;G03F7/027;C08G75/045 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供：密合性、耐氢氟酸性和剥离性优异的抗蚀剂组合物、和使用其的基材加工品。可以得到耐氢氟酸性抗蚀剂组合物、和使用其进行了蚀刻加工而成的基材加工品，所述耐氢氟酸性抗蚀剂组合物的特征在于，包含：(A)含羧基树脂、(B)多官能(甲基)丙烯酸酯单体、(C)多官能硫醇化合物、(D)光聚合引发剂、和(E)相对于前述(A)含羧基树脂100质量份为20～100质量份的滑石。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氟酸 性抗蚀剂 组合 使用 得到 基材 加工品 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太阳油墨制造株式会社，未经太阳油墨制造株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980083175.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于治疗败血症的早期凋亡细胞
- 下一篇：推力箔轴承
