[发明专利]垂直腔表面发出激光器在审
| 申请号： | 201980083318.1 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN113228434A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李基煌;卢正来;俞炳秀;田润尚;崔功熙 | 申请（专利权）人： | 首尔伟傲世有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;玉昌峰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供一种垂直腔表面发出激光器(VCSEL)，其包括：下反射镜；上反射镜；活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，所述多个氧化孔布置在所述孤立区域内。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 表面 发出 激光器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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