[发明专利]电声谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201980083804.3 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN113228507A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | F·洛克纳 | 申请（专利权）人： | RF360欧洲有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H9/56;H03H9/60;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳;傅远 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 电声谐振器和制作该电声谐振器的方法。一种电声谐振器包括设置在载体基板(110)上的声学反射镜(120)、底部电极(130)和压电层(140)。结构化二氧化硅瓣层(150)设置在压电层(140)上，这两个层具有公共接触表面。在压电层(140)上直接设置二氧化硅(150)增加了谐振器的品质因数并且导致增强的RF滤波器性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电声 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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