[发明专利]用于对准信号的噪声校正在审
| 申请号： | 201980084616.2 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN113196179A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | Z·达斯托里;G·G·安德森;K·肖梅;I·M·P·阿尔茨 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种应用测量校正的方法，包括确定正交子空间，正交子空间被用于将测量表征为数据图。正交子空间的第一轴线对应于来自量测系统的干涉仪的相长干涉输出加上第一误差变量，并且正交子空间的第二轴线对应于来自量测系统的干涉仪的相消干涉输出加上第二误差变量。方法还包括确定数据图的斜率，并且基于斜率来确定正交子空间中的数据图的拟合线。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 信号 噪声 校正 | ||
【主权项】：
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