[发明专利]用于光束扫描显微光谱的设备和方法在审
申请号: | 201980084731.X | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN113272631A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 埃马纽埃尔·弗鲁瓦尼厄 | 申请(专利权)人: | 堀场(法国)有限公司 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/44;G02B21/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 梁丽超 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种用于光束扫描显微光谱的设备,该设备包括显微镜物镜(5)和用于移动激发光束(10)的移动系统(100)。根据本发明,用于移动激发光束(10)的移动系统(100)包括:第一聚焦光学部件(M1、L1),适于将激发光束(10)聚焦在中间焦平面(20)中;另一聚焦光学部件(M3、L3),适于在显微镜物镜(5)的焦平面(51、52)中形成中间焦平面(20)的图像;以及单个扫描镜(M2),布置在第一光学部件(M1、L1)与中间焦平面(20)之间,该扫描镜(M2)安装在载物台上、该扫描镜(M2)的方向可以调节,以便在显微镜物镜的物焦平面(51)或像焦平面(52)中以两个横向方向移动焦点(61、62)的图像。 | ||
搜索关键词: | 用于 光束 扫描 显微 光谱 设备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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