[发明专利]用于光束扫描显微光谱的设备和方法在审

专利信息
申请号: 201980084731.X 申请日: 2019-12-18
公开(公告)号: CN113272631A 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 埃马纽埃尔·弗鲁瓦尼厄 申请(专利权)人: 堀场(法国)有限公司
主分类号: G01J3/02 分类号: G01J3/02;G01J3/44;G02B21/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 梁丽超
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种用于光束扫描显微光谱的设备,该设备包括显微镜物镜(5)和用于移动激发光束(10)的移动系统(100)。根据本发明,用于移动激发光束(10)的移动系统(100)包括:第一聚焦光学部件(M1、L1),适于将激发光束(10)聚焦在中间焦平面(20)中;另一聚焦光学部件(M3、L3),适于在显微镜物镜(5)的焦平面(51、52)中形成中间焦平面(20)的图像;以及单个扫描镜(M2),布置在第一光学部件(M1、L1)与中间焦平面(20)之间,该扫描镜(M2)安装在载物台上、该扫描镜(M2)的方向可以调节,以便在显微镜物镜的物焦平面(51)或像焦平面(52)中以两个横向方向移动焦点(61、62)的图像。
搜索关键词: 用于 光束 扫描 显微 光谱 设备 方法
【主权项】:
暂无信息
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