[发明专利]用于电容式压力传感器设备的微机械构件在审
| 申请号： | 201980085192.1 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113227742A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | H·阿尔特曼;V·森兹;T·弗里德里希;C·赫尔梅斯;P·施莫尔林格鲁贝尔;H·韦伯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有膜片，所述膜片借助框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的自支承区域(20)跨越所包围的部分表面(16)，所述微机械构件还具有加固结构(22)，所述加固结构构造在所述自支承区域(20)上，其中，能够定义平行于所包围的部分表面(16)取向的第一空间方向(x)，在所述第一空间方向上，所述自支承区域(20)具有最小延伸(I1)，并且能够定义平行于所包围的部分表面(16)且垂直于所述第一空间方向(x)取向的第二空间方向(y)，在所述第二空间方向上，所述自支承区域(20)具有更大的延伸(I2)，其中，所述加固结构(22)以在所述第一空间方向(x)上相对于所述框架结构(12)隔开第一间距(a1)且在所述第二空间方向(y)上隔开第二间距(a2)的形式存在，其中，所述第二间距(a2)大于所述第一间距(a1)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电容 压力传感器 设备 微机 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980085192.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
