[发明专利]用于调制等离子体系统的等离子体传递系统在审
| 申请号： | 201980085302.4 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113243144A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | G·范齐尔 | 申请（专利权）人： | 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 林金朝 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了等离子体处理系统和方法。等离子体处理系统包括被配置为向等离子体室传递功率的高频发生器和被配置为向等离子体室传递功率的低频发生器。滤波器耦合在等离子体室与高频发生器之间，并且滤波器抑制由高频发生器产生的高频与由低频发生器产生的低频的混合产物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调制 等离子体 系统 传递 | ||
【主权项】：
暂无信息
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