[发明专利]溅射靶在审
| 申请号： | 201980085376.8 | 申请日： | 2019-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN113227444A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 近藤佑一;林雄二郎;小路雅弘 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 辛雪花;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明的溅射靶的特征在于，包含75mol％以上的由Ge、Sb及Te构成的金属互化物，所述金属互化物的微晶直径为 |
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| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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