[发明专利]用于芯片上应力检测的方法及设备有效
| 申请号： | 201980085868.7 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN113227738B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | K·W·马尔;C·切拉福利;M·皮卡尔迪;M-D·蒂布尔齐;E·H·弗雷曼;J·D·托迈科 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L1/16;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微电子芯片装置，其包含：半导体衬底；及多个芯片上应变传感器(OCSS)，其在所述衬底上构建在所述衬底的各个位置处。所述OCSS可各自包含经配置以感测所述各个位置中的位置处的应变且产生表示那个位置处的所述应变的应变信号的多个压阻装置。应变测量电路也可经构建在所述半导体衬底上且经配置以从由所述OCSS产生的所述应变信号测量应变参数。所述应变参数表示所述各个位置处的所述应变。所述应变参数的值可用于分析所述芯片装置上的机械应力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 应力 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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