[发明专利]具有挡光边缘排除区的透明基板在审
| 申请号： | 201980085922.8 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN113261089A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·于-泰克·扬;卢多维克·戈代;罗伯特·简·维瑟 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开内容的多个实施方式一般涉及光学透明基板，该光学透明基板包括主表面，该主表面具有周围边缘区域和形成在该周围边缘区域上的纹理，该周围边缘区域具有形成于该周围边缘区域中的定向特征结构，该纹理的不透明度大于该主表面的不透明度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 边缘 排除 透明 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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