[发明专利]具有与被测器件的改进的接触的垂直探针头在审
| 申请号： | 201980086156.7 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113272661A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 斯太法罗·费利奇 | 申请（专利权）人： | 泰克诺探头公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;侯晓艳 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于测试集成在半导体晶片(26)上的被测器件的探针头(20)，包括：多个接触探针(21)，每个接触探针(21)具有第一端(21a)和第二端(21b)，第一端(21a)适于接触被测器件的接触垫(25)；以及在第一端(21a)处的至少一个第一下导引件(22)和第二下导引件(23)，所述导引件(22，23)彼此平行并分别设有多个用于可滑动容纳接触探针(21)的第一和第二导引孔(22h，23h)，其中第二下导引件(23)的第二导引孔(23h)相对于第一下导引件(22)的第一导引孔(22h)沿第一方向(Dir1)移位。适当地，探针头(20)包括至少一个第三下导引件(24)，其基本平行于第一下导引件(22)和第二下导引件(23)并且设置有多个用于可滑动地容纳接触探针(21)第三导引孔(24h)，其中第二下导引件(23)设置在第一下导引件(22)和第三下导引件(24)之间，并且其中第三下导引件(24)的第三导引孔(24h)相对于第二下导引件(23)的第二导引孔(23h)沿与第一方向(Dir1)相反的第二方向(Dir2)移位，第三导引孔(24h)的移位使得探针头(20)的每个接触探针(21)的第一端(21a)的擦洗运动被消除。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 器件 改进 接触 垂直 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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