[发明专利]石英玻璃坩埚在审
| 申请号： | 201980086234.3 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN113557326A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 藤田刚司;北原贤;片野智一;北原江梨子 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 梅黎 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够提拉氧浓度低、且提拉轴方向的氧浓度分布稳定的单晶硅的石英玻璃坩埚。本发明的石英玻璃坩埚(1)具有：圆筒状侧壁部(10a)、底部(10b)、以及连接侧壁部(10a)与底部(10b)的角部(10c)，所述石英玻璃坩埚(1)具备：由不含气泡的石英玻璃构成的透明层(11)、由含多个气泡的石英玻璃构成且设置于透明层(11)外侧的气泡层(12)。角部(10c)的壁厚最大位置处的红外线透射率与侧壁部(10a)的红外线透射率之比为0.3以上且0.99以下，从底部(10b)中心朝侧壁部(10a)上端的沿坩埚壁面的高度方向的红外线透射率的变化率绝对值为3％/cm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 | ||
【主权项】：
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