[发明专利]化合物、树脂、组合物、抗蚀图案的形成方法、电路图案形成方法、及纯化方法在审

专利信息
申请号: 201980086800.0 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN113260645A 公开(公告)日: 2021-08-13
发明(设计)人: 佐藤隆;越后雅敏;牧野岛高史 申请(专利权)人: 三菱瓦斯化学株式会社
主分类号: C08G8/20 分类号: C08G8/20;C07D311/82;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/26
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种化合物,其包含式(1‑1)所示的芳香族化合物与式(2‑1)所示的芳香族醛的缩合骨架。(式(1‑1)中,A表示芳香族环,R各自独立地为烷基、芳基、烯基、炔基、烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、交联性基团、解离性基团、或巯基,k为0以上的整数,L为1以上的整数。)(式(2‑1)中,B表示芳香族环,R各自独立地为烷基、芳基、烯基、炔基、烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、交联性基团、解离性基团、或巯基为,p为0以上的整数,q为1以上的整数,其中,至少1个羟基键合在与甲酰基所键合的碳原子相邻的碳原子上。)
搜索关键词: 化合物 树脂 组合 图案 形成 方法 电路 纯化
【主权项】:
暂无信息
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