[发明专利]流体接触方法、经涂覆的制品以及涂覆方法

摘要

公开了流体接触方法、经涂覆的制品以及涂覆方法。所述流体接触方法包括使腐蚀性流体流动以接触经涂覆的制品。所述经涂覆的制品包括：含铝基材；第一区域，所述第一区域在所述含铝基材上，所述第一区域包含碳和硅；第二区域，所述第二区域与所述第一区域相比远离所述含铝基材，所述第二区域具有按重量计浓度比所述第一区域更大的氧；第三区域，所述第三区域与所述第二区域相比远离所述第一区域，所述第三区域包含非晶硅。所述涂覆方法包括将含铝基材安置在封闭腔室内，然后在所述封闭腔室内热分解含二甲基硅烷和硅烷的混合物，然后热氧化，并且然后热分解硅烷。