[发明专利]用于电子束图像增强的全自动SEM采样系统

摘要

本文中公开了一种自动获取训练图像以训练提高图像质量的机器学习模型的方法。该方法可以包括分析与产品的布局相关的数据的多个图案，以标识产品的样品上的多个训练位置，用以与训练机器学习模型相关地使用。该方法可以包括：针对多个训练位置中的每个训练位置获取具有第一质量的第一图像，并且针对多个训练位置中的每个训练位置获取具有第二质量的第二图像，第二质量高于第一质量。该方法可以包括使用第一图像和第二图像来训练机器学习模型。