[发明专利]使用多个电子束进行实时立体成像的系统和方法

摘要

根据本文中的公开的实施例包括被配置为发射带电粒子束以用于对样品的结构的顶部和侧面进行成像的方法和多束装置。该多束装置包括：偏转器阵列，该偏转器阵列包括第一偏转器并且被配置为接收第一带电粒子束和第二带电粒子束；阻挡板，该阻挡板被配置为阻挡第一带电粒子束和第二带电粒子束中的一个带电粒子束；以及控制器，该控制器具有电路系统并且被配置为改变装置的配置以在第一模式与第二模式之间转换。在第一模式下，偏转器阵列将第二带电粒子束引导到结构的顶部，并且阻挡板被配置为阻挡第一带电粒子束。并且，在第二模式下，第一偏转器将第一带电粒子束引导到结构的侧面，并且阻挡板被配置为阻挡第二带电粒子束。