[发明专利]量测方法在审
| 申请号： | 201980087198.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN113227908A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | S·G·J·马西森;马克·约翰尼斯·努特;K·巴塔查里亚;A·J·登鲍埃夫;G·格热拉;T·D·戴维斯;O·V·兹维尔;R·T·惠格根;P·D·恩布卢姆;简-威廉·格明科 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T5/00;G06T5/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种方法提供以下步骤：从量测工具接收图像；确定所述图像的单独的单元；以及辨别提供准确量测值的单元。所述图像是通过在多个波长情况下测量量测目标而获得的。当所述单元是所述图像中的像素时，这些单元之间的所述辨别是基于对所述单元之间的相似度的计算。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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