[发明专利]用于在带电粒子装置中进行光学测量的装置在审
| 申请号： | 201980087228.X | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN113272932A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | J-G·C·范德托恩;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/28;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 带电粒子检查系统可以包括具有孔径或一个以上孔径的屏蔽板，例如，以允许通过附加仪器进行附加检查，该附加仪器需要到感兴趣区域的视线。诸如窗口元件或凸起边缘的场成形元件被放置在孔径处以防止或减少电场的分量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子 装置 进行 光学 测量 | ||
【主权项】：
暂无信息
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