[发明专利]用于过程控制的管芯内量测方法和系统

摘要

提供了用于使用目标设计图案来进行管芯内量测的系统和方法。这些系统和方法包括：基于表示集成电路的设计的设计数据来选择目标设计图案；提供指示目标设计图案的设计数据，以使能够将从目标设计图案导出的设计数据添加到第二设计数据，其中第二设计数据基于第一设计数据。系统和方法还可以包括：使从第二设计数据导出的结构被印刷在晶片上；使用带电粒子束工具来检查晶片上的结构；以及基于检查来标识量测数据或过程缺陷。在一些实施例中，系统和方法还包括：基于经标识的量测数据或过程缺陷来调整带电粒子束工具、第二设计数据、扫描仪或光刻设备。